RealDrop®TrueDrop®表面清洁度测量仪

产品介绍

美国科诺（KINO Scientific）推出的 LCD系列表面清洁度分析仪，专为电子制造与材料科学领域设计，通过精确量化液滴在液晶屏、晶圆、芯片及PCB表面的接触角，实现对等离子体（Plasma）处理效果、表面能分布及清洁度的科学评估。本系统基于界面化学分析原理，结合高分辨率光学成像与智能算法，为表面处理工艺优化提供关键数据支持。

RealDrop®TrueDrop®表面清洁度测量仪LCD1000核心组成与技术特性

1. 模块化硬件设计

• 主机配置：可选自动（LCD1000A）或手动（LCD1000M）样品台，支持行程定制（最大兼容φ300mm晶圆），适配半导体、微电子及显示面板行业需求。

• 光学系统：远心镜头（0.7-4.5×变焦）与平行冷光源协同工作，接触角测量精度±0.1°，重复性误差在≤0.5°。

2. CAST2.0®专业分析平台

• 集成Young-Laplace方程拟合与动态接触角追踪技术，支持等离子体处理后表面亲水性变化的量化分析。

• 一键生成清洁度评估报告，满足质量控制（QC）与研发验证需求。

RealDrop®TrueDrop®表面清洁度测量仪LCD1000应用场景与附加值

• 工艺优化：精准评估等离子体处理、UV/O₃清洗等工艺对表面自由能的影响，指导参数调优。

• 缺陷检测：识别晶圆镀膜不均、PCB焊盘污染等微观缺陷，提升产品良率。

• 研发验证：为超疏水涂层、抗指纹玻璃等新材料开发提供润湿性数据支撑。

服务与定制化方案

• 提供样品台尺寸、控温模块（-20℃~200℃）及真空环境腔室等定制选项，适配特殊实验条件。

• 科诺专业技术团队支持全生命周期服务，包括方法开发、数据解读与合规性指导。

科学定义表面品质，驱动精密制造升级
LCD系列——以数据赋能表面处理工艺的每一次进步。

应用场景与附加值

• 工艺优化：精准评估等离子体处理、UV/O₃清洗等工艺对表面自由能的影响，指导参数调优。

• 缺陷检测：识别晶圆镀膜不均、PCB焊盘污染等微观缺陷，提升产品良率。

• 研发验证：为超疏水涂层、抗指纹玻璃等新材料开发提供润湿性数据支撑。

  
  

功能实现与技术流程

一、定位与运动控制

1. 测试前准备

• 控制注射泵沿XY轴平移至安全区（避让距离可预设），确保装样操作无机械干涉。

• 通过XYZ三轴精密导轨调节进样器与镜头空间位置，结合俯仰角度微调（±0.1°），实现亚像素级成像清晰度。

• 镜头升降（Z轴）行程范围0-50mm，分辨率10μm，适配5mm至300mm样品厚度。

• 光学对焦校准

• 样品台避让模式

2. 动态测试控制

• Z轴闭环控制液滴释放高度，配合PTFE超疏水针头（内径0.1mm），液滴体积控制精度0.02μL（CV≤1.5%）。

• XY轴自动定位（重复精度±2μm），支持10×10网格化采样，单次测试覆盖面积100×100mm。

• 多点位扫描

• 液滴精准转移

二、液滴形态分析与计算

1. 图像捕获与预处理

• 采用300万像素CMOS相机（87-340 fps）捕捉液滴轮廓，内置UV滤波片消除环境光干扰。

• 实时边缘增强算法提升液-固-气三相线识别精度至亚像素级（±0.1像素）。

2. 接触角计算模型

• 内置倾角传感器数据融合算法，自动校正镜头俯仰偏差（0-15°），补偿后角度误差在≤0.2°。

• 通过非线性最小二乘法拟合Young-Laplace方程，适配疏水表面（θ>90°）及非对称液滴，理论吻合度R²>0.995。

• 基于液滴宽高比快速计算静态接触角，适用于亲水表面（θ<90°），计算误差在≤0.5°。

• θ/2法（WH法）

• 椭圆拟合法

• 俯视角度补偿

三、质量控制与标准化

• 数据可追溯性

• 每帧图像附带接触角值、拟合曲线等元数据，符合ISO数据完整性要求。

• 动态过程监控

• 支持液滴铺展/回缩过程录像（AVI格式），帧率与接触角变化曲线同步标记，便于工艺失效分析。

技术优势总结

• 精密运动：六轴联动控制，定位精度达微米级

• 智能算法：双模型自适应计算，覆盖5°-175°接触角范围

• 合规设计：数据采集与报告格式符合ASTM标准

特别声明：

1、以上图片资料以及技术参数因设计而进行的更改，不再另行通知，以最新确认的产品资料为准。

2、如需详细水滴角分析技术的资料和水滴角测试标准，请联系我们的技术工程师。

3、详细报价根据采购方案另行报价。

4、如需要特殊尺寸样品或特殊需求，我们可定制产品，但需要你支付定金。

5、如上样本册文本资料、技术设计方案以及技术指标描述等版权归本公司所有。任何单位未经本公司许可，不得自行传播或复制。本公司保留一切权利。

CAST^®、阿莎^®、ADSA^®、TrueDrop^®、RealDrop^®、TheDrop^®、MicroDrop^®、LMCA^®、Shsolon^®、梭伦^®为上海梭伦注册商标。

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